Parallel atomic force microscopy with optical interferometric detection

T. Sulchek*, R. J. Grow, G. G. Yaralioglu, S. C. Minne, C. F. Quate, S. R. Manalis, A. Kiraz, A. Aydiner, A. Atalar
Appl. Phys. Lett. 78, 1787-1789 (2001)
DOI: 10.1063/1.1352697 (PDF)